半導(dǎo)體制造主要指在晶圓上制作邏輯電路的過程，涉及到工藝制程設(shè)備有擴(kuò)散爐、PVD/CVD設(shè)備、光刻機(jī)、涂膠機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入設(shè)備、CMP設(shè)備等。真空系統(tǒng)作為這些工藝制程設(shè)備的關(guān)鍵子系統(tǒng)，由真空腔室、真空閥門（隔離閥、傳輸閥、調(diào)壓閥、插板閥等）、真空泵（低溫泵、干泵、分子泵等）及真空測(cè)量（薄膜真空規(guī)、壓力開關(guān)等）等核心零部件構(gòu)成。由于芯片制造對(duì)環(huán)境和穩(wěn)定性要求非常嚴(yán)苛，因此，這些核心零部件的設(shè)計(jì)和制造要求也非常高，這其中包含了材料的選擇、結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)、加工、裝配及表面處理的工藝等。
新能源行業(yè)，尤其是太陽能光伏板塊大部分的工藝需要應(yīng)用到真空技術(shù)，在單晶硅和多晶硅的燒結(jié)爐中，利用真空設(shè)備可防止雜質(zhì)污染，防止和其他氣體的反應(yīng)，提高拉晶純度。在生產(chǎn)光伏模塊工藝時(shí)，需要利用真空技術(shù)實(shí)現(xiàn)高效而精準(zhǔn)的工件搬運(yùn)，特別是一些極其敏感的工件，必須輕柔抓取，避免在其表面留下痕跡或?qū)ζ湓斐晌廴荆ü杵㈦姵亍⒎庋b線和成品模塊等工件。
各類分析儀器是醫(yī)療衛(wèi)生、食品健康、科學(xué)研究、新能源、新材料等行業(yè)的重要工具，而很多的分析儀器都需要相應(yīng)的潔凈真空環(huán)境條件，才能對(duì)特定的分析對(duì)象進(jìn)行表面特性、物理特性、理化指標(biāo)、元素構(gòu)成、分子結(jié)構(gòu)和密封性等方面的分析。比如常見的氦質(zhì)譜檢漏儀（HLD）、掃描電子顯微鏡（SEM）、透射電子顯微鏡（TEM）、比表面分析儀、各類質(zhì)譜分析類儀器（ICP-MS、GC-MS、LC-MS、GD-MS等）以及一些光譜和能譜類分析儀器等。
